一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法

摘要

本发明提供了一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法，气体微流量计包括流量计外壳，在流量计外壳内设置有气体测量电容器、进气管和出气管。进气管的中部设置有电磁阀导气孔，进气管的后部设置有电容导气孔。气体测量电容器的下部中间与电容导气孔相连，出气管的下部与电磁阀导气孔相连，出气管内设置有电磁阀，电磁阀能控制出气管的通闭，待测气体自进气管的电容导气孔进入气体测量电容器，造成气体测量电容器电容值变化。本发明通过气体测量电容器电容值的变化，实现单位时间内微流量气体的流量测量的目的，气体测量电容器感知灵敏，电容值变化速度快，因此微流量气体的流量测量精度非常高且迅速，适用于精密测量。