一种高温磁悬浮轴承轴向用电涡流位移传感器

摘要

本发明公开了一种高温磁悬浮轴承轴向用电涡流位移传感器，属于电涡流位移传感器领域，该传感器主要由工作探头、辅助探头、信号处理电路、温度补偿电路四部分构成。主探头与辅助探头主要由高温漆包线、陶瓷线圈骨架、高温胶、高温同轴电缆组成；信号处理电路主要是由振荡电路、检波电路、标定电路组成；温度补偿电路主要由温漂补偿电路和时漂补偿电路组成，其中温漂补偿电路主要由Pt100三线制温度采集电路、信号调理电路和除法器构成，时漂补偿电路主要由Pt100三线制温度采集电路、两探头差动电路组成。未补偿的信号先经过减法器消除温漂的偏置电压温漂误差，再经过除法电路消除灵敏度温漂误差。本发明传感器主要在高温磁悬浮轴承轴向中应用。