一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺

摘要

本发明涉及一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺，包括平面光源以及垂直平面光源的照射方向并沿平面光源的照射方向依次排列的光学透镜、标尺光栅、光电传感器阵列，其中，所述光电传感器阵列在光栅尺的宽度方向上呈阶梯状布置，且光电传感器阵列中的每个光电传感器逐一错开；本发明的光栅尺测量速度快，精度高，传感器信号的灵敏度高，不需要图像处理，所获得相位差一直的脉冲序列，可以通过移位电路，快速获得脉冲数量和方向，实现位移信息的快速处理。