闪烁屏封装结构制造方法、闪烁屏封装结构及影像探测器

摘要

本发明公开了一种闪烁屏封装结构制造方法、闪烁屏封装结构及影像探测器。该制造方法包括，在基板的某一表面制作晶柱状闪烁体层；在形成有晶柱状闪烁体层的基板外围制作防潮层；在防潮层除用于接收X射线的表面以外的其余表面制作X射线吸收层；在X射线吸收层的外表面和防潮层用于接收X射线的表面制作保护层。本制造方法通过依次制作晶柱状闪烁体层、防潮层、X射线吸收层和保护层，提高了所形成的闪烁屏封装结构的X射线吸收率、转换的可见光的透过率及耐湿性能。并且，通过增加X射线吸收层，以吸收晶柱状闪烁体层未完全吸收的X射线，实现对X射线图像传感器的电子电路的X射线屏蔽，从而降低X射线对X射线图像传感器的辐射干扰。