超衍射极限激光光束衍射中场的测试装置

摘要

一种超衍射极限激光光束衍射中场的测试装置，其特征在于包括一单模激光发射系统，沿光束前进方向依次是补偿位相板、衰减片、近平面反射镜、远平面反射镜、孔径光阑、光电探测器和可移动导轨，所述的近平面反射镜和远平面反射镜的反射面相对放置，带孔径光阑的光电探测器置于可移动导轨上。由于本发明只借助于平面反射镜获得衍射中场，反射镜可以做到高精度平面，因此平面反射镜附加的相位影响可以忽略，而且是利用光电探测器对中场的衍射光强进行测量，因此克服了传统光束发散度测量方法中的测量器件本身的限制，使测量不受任何光学器件的干扰，测量精度高。