一种纳秒激光烧蚀微槽截面轮廓预测方法

摘要

本发明一种纳秒激光烧蚀微槽截面轮廓预测方法属于特种加工领域，涉及一种基于工艺参数可行域的纳秒激光烧蚀微槽截面轮廓预测方法。该方法基于纳秒级脉冲激光加工复杂图案靶材表面能量动态分布模型，求解靶材表面能量密度值。并根据靶材‑激光间反应机理，依托能量守恒定律和热力学规律，建立激光烧蚀深度预测模型，预测激光烧蚀微槽深度。在机床动态性能与激光器光学性能约束下，求解保证材料去除的加工参数约束集合，计算激光加工烧蚀宽度，实现纳秒激光烧蚀微槽截面轮廓预测。该方法预测准确、全面可靠，可有效应用于高速飞行器高性能天线激光加工工艺参数选择和加工轨迹规划中，对提高该类天线服役性能具有重要的实际应用意义。