一种降低掺镁氧化锌薄膜电阻率的方法

摘要

本发明提供了一种降低掺镁氧化锌薄膜电阻率的处理方法，包括以下步骤：将掺镁氧化锌薄膜进行真空热处理；所述真空热处理在保护气体气氛下进行；所述真空热处理的气压为0.1～100Pa，温度为400～1000℃，时间为5～120min。本发明将掺镁氧化锌薄膜在低真空保护气氛下进行真空热处理，可以大幅度提高薄膜内的载流子浓度，使得薄膜的电阻率显著降低。同时具有较高的透光率。