基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统和方法

摘要

本发明适用于激光加工制造领域，提供了一种基于迈克尔逊干涉在线振镜定位精度校正加工系统和方法。该系统包括：加工激光模块、校正激光模块、合束镜、分光棱镜、测量光模块、参考光模块、分析处理模块。本发明提供的振镜校正加工系统是基于迈克尔逊干涉光路系统改进设计的振镜加工光路系统，通过获取工作面反射的测量光与参考光干涉信号，然后通过分析处理模块生成误差补偿文件对振镜进行校正。这种方法不仅能够提高定位精度的校正精度，还可以简化操作流程。