公开/公告号CN107342260B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;
申请/专利号CN201710772525.0
申请日2017-08-31
分类号H01L21/77(20170101);H01L27/12(20060101);
代理机构11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司;
代理人郭润湘
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
入库时间 2022-08-23 11:10:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-25
授权
授权
2017-12-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/77 申请日:20170831
实质审查的生效
2017-11-10
公开
公开
机译: 多晶硅TFT阵列基板的制备方法及其阵列基板
机译: 多晶硅TFT阵列基板的制备方法及其阵列基板
机译: 一种利用FAC工艺制造低温多晶硅硅TFT-LCD阵列基板的方法,特别是在结晶化和最小化结晶化缺陷后降低金属杂质的方法