法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 3/109 授权公告日:20080702 终止日期:20130731 申请日:20060731
专利权的终止
2008-07-02
授权
授权
2007-04-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-02-14
公开
公开
机译: 由非共线调制脉冲引起的使用动态相位调制的高次谐波生成的相位匹配
机译: 由非共线调制脉冲引起的使用动态相位调制的高次谐波生成的相位匹配
机译: 产生激光束高次谐波的装置,使用相同光束的曝光装置,产生激光束高次谐波的方法,使用相同光束的曝光方法以及使用相同光束的器件制造方法