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具有量子井结构的半导体元件和半导体元件的形成方法

摘要

半导体元件(1)包含具有量子井结构的活性区域(3)。活性区域(3)包含井区域(5)和阻挡区域(7)。井区域(5)由含有氮、铟和镓的III-V族化合物半导体组成。阻挡区域(7a)具有第一半导体层(9a)和第二半导体层(11a)。第一半导体层(9a),由至少含有氮、铟和镓的III-V族化合物半导体组成。第二半导体层(11a),由至少含有氮和镓的III-V族化合物半导体组成。第一半导体层(9a)被设置在第二半导体层(11a)与井区域(5)之间。第一半导体层(9a)的铟组成,比第二半导体层(11a)的铟组成小。第一半导体层(9a)的铟组成比井区域的铟组成小。

著录项

  • 公开/公告号CN100407527C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2008-07-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 住友电气工业株式会社;

    申请/专利号CN200510009454.6

  • 发明设计人 京野孝史;上野昌纪;秋田胜史;

    申请日2005-02-08

  • 分类号H01S5/343(20060101);H01L33/00(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人朱丹

  • 地址 日本大阪府

  • 入库时间 2022-08-23 09:00:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-27

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 5/343 授权公告日:20080730 终止日期:20170208 申请日:20050208

    专利权的终止

  • 2008-07-30

    授权

    授权

  • 2008-07-30

    授权

    授权

  • 2006-12-06

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-12-06

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-08-24

    公开

    公开

  • 2005-08-24

    公开

    公开

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