一种纳米多层复合超硬刀具涂层及其制备方法

摘要

本发明提供的纳米多层复合超硬刀具涂层，由依次沉积在刀具基体材料上的Cr过渡层（金属结合层）、CrN过渡层、CrN/TiAlSiYN交替层构成，所述CrN/TiAlSiYN交替层由CrN层、TiAlSiYN层依次交替沉积构成。所述TiAlSiYN层的组成组分按重量份计由15~35份的Ti，25~50份的Al，25~60份的N，3~5份的Si，0.8~1.5份的Y组成。本发明还提供了所述涂层的制备方法。本发明可提高刀具涂层的强度、韧性、耐热性以及膜基结合强度。