一种新型快速椭圆偏振光测量系统

摘要

本发明是一种新型快速椭圆偏振光测量系统。在传统光度式椭圆偏振光测量仪结构中，需采用机械转动方式控制起偏器或检偏器来进行光偏振态的方位角扫描。由于机械转动的速度有限，大大限制了椭圆偏振光测量的检测速度。本发明采用组合检偏器和二维CCD阵列探测器结构配置的椭圆偏振测试系统来快速获取材料的光学参数。由于采用组合偏振器代替传统的旋转偏振器来获得傅立叶分析所要求的采样点数目，并采用二维CCD阵列探测器来并行探测各偏振态的光信号。在测试过程中，系统无须转动任何机械部件，因此可以使各类材料光学参数的测量速度大幅度提高。