一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置

摘要

本发明公开了一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置，该装置包含静电聚焦系统、静电分析器、栅网、微通道板、固定顶帽和静电分析器的侧支撑结构、固定静电分析器的支撑结构等；静电聚焦系统由上下各三组同轴的金属圆环电极组成，各个环状电极由内到外半径依次增加；静电分析器为半球状；包括顶帽、内半球以及外半球。本发明在传统的低能离子能量分析装置的准直区设置了金属圆环静电聚焦系统，该静电聚焦系统可同时对进入分析器的带电粒子束实现准直和聚焦，增加了分析器对入射气体的接收角范围；同时由于聚焦系统对带电粒子束的聚焦作用，提高了静电分析器的检测离子能量的灵敏度和效率。