镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品制备方法

摘要

本发明涉及镀锌板表面镀层的样品制备领域，公开了一种镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品制备方法，包括如下步骤：试样预处理、双束系统样品室调节、切割区域设置和离子束切割。本发明镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品制备方法利用聚焦离子束准确的微区加工功能，准确控制镀锌层的切割厚度，避免镀锌层受到腐蚀和应力影响，大幅度提高了镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品的制备成功率。