具有卡盘组件维护模块的晶片处理系统

摘要

一种晶片处理系统具有环维护模块，用于将晶片装载至卡盘组件中，并且用于清洁和检查系统的电镀处理器中使用的卡盘组件。轴部附接至转子板。旋转马达使轴部和轴部上的转子板旋转。轴部的上端上的卡盘夹具将卡盘组件保持至转子板上。升降马达升高和降低转子板和轴部，以移动打开卡盘组件来用于晶片装载和卸载，并且移动卡盘组件至不同的处理位置中。可提供具有喷嘴的摆动臂来清洁卡盘组件。