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公开/公告号CN109494565B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201811548103.6
发明设计人 祝宁华;张晨炜;陈伟;王欣;班德超;
申请日2018-12-18
分类号H01S5/0687(20060101);H01S5/022(20060101);H01S5/042(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人喻颖
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 11:08:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
授权
2019-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S5/0687 申请日:20181218
实质审查的生效
2019-03-19
公开
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