公开/公告号CN107942461B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 大立光电股份有限公司;
申请/专利号CN201610976677.8
申请日2016-11-04
分类号G02B7/02(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 中国台湾台中巿南屯区精科路11号
入库时间 2022-08-23 11:07:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
授权
授权
2018-05-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B7/02 申请日:20161104
实质审查的生效
2018-04-20
公开
公开
机译: 光学成像装置,特别是用于显微镜的光学成像装置,包括在像面上显示物平面的物点的两个光学元件组,其中一个光学元件组包括具有反射光学表面的光学元件。
机译: 光学成像装置,特别是用于显微镜的,用于基板检查的光学成像装置,具有两个光学元件组,其通过在像平面处具有成像辐射路径的成像辐射来显示物平面的物点。
机译: 光学显微镜和电子显微镜的相关显微技术,包括一个工作台,包括用于低温电子显微镜的样品夹持器,用于光学成像和电子显微镜,光学显微镜,光学显微镜和光学显微镜之间的相关成像检测装置