一种金刚石刀具切削刃磨损检测模块及检测方法

摘要

一种金刚石刀具切削刃磨损检测模块及检测方法，属于超精密加工与检测技术领域，模块包括3R高精度气动转换夹具、转接板、显微镜筒Z向运动台，单筒变倍显微镜筒、同轴点光源、显微物镜、CCD相机、光谱共焦传感器、光谱共焦控制器、光谱共焦传感器Z向运动台、图像采集卡、运动控制器以及PC处理机，采用了显微视觉和光谱共焦测量的复合测量手段，利用加工机床的XY轴对金刚石刀具切削刃磨损进行快速扫描分析；利用切削刃磨损深度和图像灰度相关性，图像的二维数据通过SFS法恢复出三维图，与光谱共焦测量的三维数据进行数据融合，实现切削刃磨损的评价。本发明能够充分考虑在超精密加工机床上进行快速集成，实现刀具表面较大范围的三维磨损检测。