蜂窝状微止挡结构设计方法

摘要

本发明公开了一种蜂窝状微止挡结构设计方法，在MEMS传感器中的质量块的两侧对称设置蜂窝状微止挡结构，根据确定的承受最大冲击加速度值、质量块质量、蜂窝状微止挡结构的最大形变、蜂窝状微止挡结构材料机械特性，采用数值仿真计算，确定蜂窝状微止挡结构的尺寸，采用该方法设计的蜂窝状微止挡结构，借助于交错层叠的蜂窝结构将冲击应力分散开，在质量块与微止挡结构碰撞接触后蜂窝状微止挡结构既变形缓冲吸收冲击能量，又避免微止挡结构变形产生的应力集中现象。