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基于二维X射线检测技术的超大晶粒尺寸的无损检测方法

摘要

本发明属于超大晶粒尺寸测量技术领域,具体涉及基于二维X射线检测技术的超大晶粒尺寸的无损检测方法。所述方法以二维X射线探测器技术为基础,针对超大晶粒材料进行衍射,对得到的衍射图像进行分析处理后得到衍射数据,再根据所述衍射数据绘制得到所述超大晶粒材料的晶粒图。本发明的检测方法区别于其他晶粒尺寸的计算,本发明是直接对样品的X射线衍射图像信息进行分析,得到的是材料一定精度下的真实晶界位置,区别于传统检测得到的平均晶粒尺寸,同时区别于谢乐公式仅适用于微米级以下晶粒尺寸的检测。

著录项

  • 公开/公告号CN108376656B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-07-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京科技大学;

    申请/专利号CN201810130269.X

  • 申请日2018-02-08

  • 分类号H01L21/66(20060101);

  • 代理机构11401 北京金智普华知识产权代理有限公司;

  • 代理人皋吉甫

  • 地址 100083 北京市海淀区学院路30号

  • 入库时间 2022-08-23 11:07:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-31

    授权

    授权

  • 2018-08-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20180208

    实质审查的生效

  • 2018-08-07

    公开

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