法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-28
授权
授权
2019-07-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R29/10 申请日:20180428
实质审查的生效
2019-06-28
公开
公开
机译: 快速释放连接装置,用于将水力测功器与工作装置或其他方式连接,特别是用于校平,装载摆动等的设备。
机译: 校平程序,校平方法及校平装置
机译: 用于半导体器件制造的曝光设备中的电容式规程跟踪装置,表面跟踪方法,校平装置和使用该仪器的半导体器件的校平方法