SPR相位测量金属薄膜厚度和光学常数的IAGA方法

摘要

本发明公开了一种SPR相位测量金属薄膜厚度和光学常数的IAGA方法：首先通过SPR相位测量装置测量在入射光波长固定、不同入射角下的多层金属薄膜的干涉条纹信息，获得相位差与入射角的关系曲线，再从关系曲线中选取相位差数据代入目标函数，采用改进自适应遗传算法反演多层金属薄膜的厚度和光学常数，将反演计算所获入射角与相位差的关系曲线与实验中所获得的入射角与相位差关系曲线上设定的的某一个或几个特定角度点的值进行对比，看特定角度点的值的逼近程度。本发明的有益效果是：仅一次计算即可快速检测多层金属薄膜厚度和光学常数；为求解多层薄膜的光学常数和厚度提供有效地理论指导和参考，具有优化效果好，应用性强等特点。