具有两个测量范围的MEMS摆锤加速计

摘要

精细控制阶段，其中第一电压被施加在固定电极中的一者与可移动电极之间，同时固定电极中的另一者处于与可移动电极相同的电势；以及扩展控制阶段，其中第二电压被施加在固定电极之一与可移动电极之间，另一个固定电极处于与可移动电极相同的电势，并且第二电压在绝对值上高于第一电压。