具有辐射单元的照射设备及其制造方法和应用

摘要

本发明涉及具有辐射单元的照射设备及其制造方法和应用。照射设备具有：辐射单元，用于发射在时间积分中呈射束簇形式的辐射；在辐射单元下游的微透镜装置，具有并排设置的多个微会聚透镜，用于将射束簇分成每个微会聚透镜一个子射束簇；和在微透镜装置下游的会聚透镜，将子射束簇至少在时间积分中在照射面中叠加；微会聚透镜划分为分别具有多个微会聚透镜的至少第一组和第二组，其中每组的微会聚透镜是相同的，然而第一组的微会聚透镜在其形状、尺寸和焦距中的至少一个方面与第二组的微会聚透镜不同，使得照射面的经由第一组的微会聚透镜照射的第一区域在其形状及其尺寸中的至少一个方面与照射面的经由第二组的微会聚透镜照射的第二区域不同。