基于静电负刚度频率解算的FM加速度计力平衡检测方法

摘要

本发明公开了一种基于静电负刚度频率解算的FM加速度计力平衡控制方法，首先构建谐振器闭环自激控制系统，在自激驱动环路中加入幅度自动控制环节，使得谐振器稳幅振动在其自然谐振频率点；然后检测谐振频率，进行PI控制，确定调谐电压，使结构维持在初始平衡位置；最后检测平衡后的谐振频率，确定加速度值。本发明扩大了加速度计的量程，提高了加速度计标度因数的线性度。