公开/公告号CN100383541C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN200510026554.X
申请日2005-06-08
分类号G01R31/26(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-23 09:00:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 31/26 授权公告日:20080423 终止日期:20140608 申请日:20050608
专利权的终止
2008-04-23
授权
授权
2006-01-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-11-09
公开
公开
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