公开/公告号CN107800310B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海新进半导体制造有限公司;上海新进芯微电子有限公司;
申请/专利号CN201711146461.X
申请日2017-11-17
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人罗满
地址 200241 上海市闵行区紫星路1600号
入库时间 2022-08-23 11:04:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-10
授权
授权
2018-04-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H02M7/217 申请日:20171117
实质审查的生效
2018-03-13
公开
公开
机译: 用于控制芯片实验室系统中的流体流动的装置和方法以及制造装置的方法
机译: 控制芯片实验室系统中的流体流动的装置和方法以及生产所述装置的方法
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