一种制备氮碳化物复合涂层的工艺方法

摘要

本发明属于金属表面处理技术领域，尤其涉及一种制备氮碳化物复合涂层的工艺方法：基体的活化后，开启Cr靶电源，利用磁控溅射技术在基体表面沉积Cr过渡层，再通入氮气和氩气的混合气体，并利用磁控溅射技术在Cr过渡层表面沉积CrN层；停止混合气体的通入并切断Cr靶的电源，然后通入氩气、甲烷的混合气体，利用等离子体反应技术使CrN层表层原位转化为CrC层。