一种可同时检测光学元件表面和亚表面缺陷的装置及方法

摘要

本发明公开了一种可同时检测光学元件表面和亚表面缺陷的装置及方法，将激光诱导超声与激光散射检测技术结合起来，通过激光在待测光学元件表面及亚表面产生表面波，观测并分析亚表面缺陷在表面波运动调制下的静态光散射效应，通过分析散射光强和反射光强的幅值和相位变化实现对光学元件表面和亚表面缺陷的检测。本发明可用于精密光学元件的质量检测，尤其适用于对亚表面缺陷有严苛要求的超精密光学元件的成品检测。