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用于降低光电子产率和/或二次电子产率的方法和装置

摘要

一种降低靶标(10)的表面的光电子产率(PEY)和/或二次电子产率(SEY)的方法,所述方法包括向靶标(10)的表面施加激光辐射以在表面上产生周期性结构排列,其中所述激光辐射包括包含一系列激光脉冲的脉冲激光辐射并且所述脉冲的功率密度在0.01TW/cm

著录项

  • 公开/公告号CN108260349B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-07-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 敦提大学;

    申请/专利号CN201680046529.4

  • 发明设计人 阿明·阿卜杜勒凡德;

    申请日2016-06-24

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人李博

  • 地址 英国敦提

  • 入库时间 2022-08-23 11:04:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-03

    授权

    授权

  • 2018-07-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):B23K26/00 申请日:20160624

    实质审查的生效

  • 2018-07-06

    公开

    公开

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