用于微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件的X射线折光器

摘要

一种用于微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件的X射线折光器，所述X射线折光器与X射线阵列组合折射透镜贴近放置，所述X射线折光器具有用于实现入射X射线光束整形的整形结构，所述整形结构是指X射线折光器对X射线阵列组合折射透镜中的正负一级组合透镜折光θ角度，对X射线阵列组合折射透镜中的正负二级组合透镜折光2θ角度，依此类推，最终实现对X射线阵列组合折射透镜中每一个单一组合折射透镜的类平行光入射。本发明应用于微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件，可同时实现高微区分辨率和高灵敏度，并可进行现场分析。