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公开/公告号CN107833940B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-30
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大学;
申请/专利号CN201710985169.0
发明设计人 吕斌;徐易扬;叶志镇;
申请日2017-10-20
分类号H01L31/109(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构33224 杭州天勤知识产权代理有限公司;
代理人胡红娟
地址 310013 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2022-08-23 11:03:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-30
授权
2018-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/109 申请日:20171020
实质审查的生效
2018-03-23
公开
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