用于检测压电元件中的裂纹的方法和装置

摘要

本发明公开了用于检测压电元件中的裂纹的方法和装置。本发明提供了一种无论裂纹的尺寸能够可靠地检测压电元件中的裂纹的方法。该方法包括：将电压施加到一对压电元件(9a和9b)中的第一压电元件(9a)，从而引起第一压电元件(9a)中的变形，根据第一压电元件(9a)的变形来使得该对压电元件(9a和9b)中的第二压电元件(9b)发生强制性变形，从而从第二压电元件(9b)产生电压，基于施加电压值和生成电压值来求出这对压电元件(9a和9b)的传递函数(G(s))，并且基于从求出的传递函数(G(s))获取的目标值，检测该对压电元件(9a和9b)中是否存在裂纹。