法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-26
授权
授权
2019-12-06
著录事项变更 IPC(主分类):G01L27/00 变更前: 变更后: 申请日:20181025
著录事项变更
2019-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L27/00 申请日:20181025
实质审查的生效
2019-02-12
公开
公开
机译: 半导体标定结构,半导体标定晶片,标定半导体晶片涂层系统的标定方法,在处理过程中确定层对准的半导体加工方法以及标定方法
机译: 标定系统,标定夹具,标定方法和标定程序
机译: 标定系统浸入式水位测量装置,标定方法,标定程序,因此具有浸入式标定功能的测量装置