基于温度的介电泳抛光介电泳力的控制装置及控制方法

摘要

本发明公开了一种基于温度的介电泳抛光介电泳力的控制方法，装置包括旋转底座、高压电源、及控制单元；所述的下圆环电极安装在旋转底座上，抛光垫安装在下圆环电极上，与下圆环电极之间设有绝缘垫板；抛光垫的边缘处设有挡板，挡板内抛光垫上设有抛光液；上圆环电极置于挡板内上部，其底面上设有绝缘垫板，上圆环电极和下圆环电极分别与高压电源的正负极连接；温度传感器、速度传感器、距离传感器、阻力测量计和电场强度测量仪分别与控制单元连接。本发明结构简单，操作方便，能够延长抛光液和磨粒在加工区域内的驻留时间，改变磨粒在加工区域的分布，增强抛光粒子对工件材料的去除能力，提高了加工效率。