法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-03-30
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 13/00 授权公告日:20080423 终止日期:20100224 申请日:20060124
专利权的终止
2008-04-23
授权
授权
2006-10-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-08-16
公开
公开
机译: 一种校准工具,一种光刻设备,一种校准方法,一种设备制造方法及其制造的设备
机译: 用于校准发射机/接收机的第一信号路径和第二信号路径之间的失配的宽带校准方法和宽带校准装置
机译: 一种用于校准设备的方法,一种用于并排校准多个设备的方法以及实现这种方法的合适对象