动态偏频锁定式正弦频率扫描干涉绝对测距装置和方法

摘要

本发明公开了一种动态偏频锁定式正弦频率扫描干涉绝对测距装置和方法。用高频电光相位调制器对锁定至飞秒光频梳的参考激光进行调制，产生等间隔的激光边带；第六阶边带与扫频激光进行拍频，拍频信号与扫频信号源下混频产生差频信号，通过数字鉴相器与PID控制器将差频信号锁定至参考时钟；闭环控制下扫频激光动态偏频锁定至参考激光，并与扫频信号源同步地进行正弦频率扫描；将锁定后的激光用于绝对距离测量得到干涉信号，根据正弦频率扫描的特性求得相位，根据合成波长过渡理论求得待测距离。本发明解决了频率扫描法中激光频率难以精确控制、频率扫描量难以精确测量等问题，提高了绝对距离测量精度与效率，可以广泛应用于干涉测量技术领域。