公开/公告号CN108348765B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-23
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201680067794.0
发明设计人 D·J·里格斯;
申请日2016-11-01
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 11:02:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-23
授权
授权
2018-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):A61N5/06 申请日:20161101
实质审查的生效
2018-07-31
公开
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