用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器及其制造方法

摘要

一种用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器包括基板和机电换能器，所述基板具有腔体，所述机电换能器在腔体与基板连接并且包括能够沿着侧向移动方向变形的可变形元件，其中，可变形元件沿着侧向移动方向的变形和流体的体积流之间存在因果关系。