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刘梦然; 简泽明; 张国军; 张文栋;
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;
中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051;
微机电系统(MEMS); MEMS矢量水听器; 流固耦合; 透声帽; 谐振频率; 频带;
机译:聚对二甲苯封装的宽频晶须式MEMS矢量水听器
机译:基于“三明治”式封装结构的MEMS仿生矢量水听器性能研究
机译:新型MEMS仿生矢量水听器的封装改进和测试
机译:用于通用微流体系统的MEMS原型系统集成和封装。
机译:差分MEMS矢量水听器的研制。
机译:一整体集成生物启发三维MEMS矢量水听器
机译:热流体结构相互作用的综合Bem方法的开发:BEsT-FsI:流体结构相互作用的边界元解决方案
机译:流体-结构相互作用分析方法及流体-结构相互作用分析程序
机译:具有封盖部件的MEMS封装具有不同的厚度,MEMS晶圆级封装以及制造包括封盖部件的MEMS封装的方法
机译:具有具有不同厚度的封盖构件的MEMS封装,具有相同厚度的MEMS封装,具有相同厚度的MEMS晶片级封装及其制造方法
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