一种激光自混合干涉测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种激光自混合干涉测量装置及测量方法，旋转平台承载平行平晶置于激光外腔，激光束透过平晶入射到目标反射物，反射后成为反馈光，并经原路返回激光腔，反馈光与腔内的激光产生自混合干涉效应，旋转平台驱动平晶做旋转运动以改变激光束在平晶内外的光程，实现对自混合干涉信号的调制，通过光电探测器将调制的自混合干涉信号采集到计算机，由计算机软件系统进行处理得到干涉信号的相位信息，可精确测量目标反射物的振动、位移等多个物理量。本发明以平晶旋转的方式调制外腔光程，构建了一种调制范围大、精度高、操作简单、成本低的自混合干涉测量仪。