玻璃基板非接触式气浮输运装置

摘要

本发明公开一种玻璃基板非接触式气浮输运装置，包括气浮导轨，所述气浮导轨设置在基座上，其水平度可调节，所述气浮导轨上阵列设置有若干凹槽，所述凹槽底部两侧对应设置有进气孔和出气孔，所述凹槽中设置有排气孔，所述进气孔通过三位五通阀连通正压气管，所述出气孔通过三位五通阀连通负压气管，所述排气孔连通负压气管。本发明利用空气流动产生的粘性效果作为驱动力，实现了真正的完全无接触，玻璃基板不易受到污染或损坏，竖直方向气流影响不显著，能够降低气流对工件的扰动，设置均压槽将凹槽内成对供气孔和吸气孔相连，能够减少槽内乱流现象的发生，进一步增大粘性牵引驱动力。