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Levitation and Deformation Characteristics of Thin Glass Substrate on Non-Contact Aerostatic Conveyer

机译：非接触式空气静止输送机上薄玻璃基板的悬浮和变形特性

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作者
Naoki OIWA; Tomoko HIRAYAMA; Takashi MATSUOKA; Hiroshi YABE;
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作者单位

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年度 2013
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