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使用位置敏感检测器的线性位移传感器

摘要

一种位置感测装置,其包括框架、引导支承件、运动元件、位置敏感检测器、光源和位置指示发射器。运动元件被引导支承件沿测量轴线方向在测量范围内引导。光源被配置为发出源光。位置指示发射器与运动元件一起移动。位置指示发射器包括发射器材料,该发射器材料吸收源光并从发射器材料输出激发光,以便在位置敏感检测器上形成测量光点。测量光点沿着位置敏感检测器的感测轴线方向与运动元件沿着测量轴线方向的位置相对应地移动。位置敏感检测器响应于测量光点输出至少一个信号,该至少一个信号指示运动元件沿着测量轴线方向的位置。

著录项

  • 公开/公告号CN108692659B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-06-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社三丰;

    申请/专利号CN201810271606.7

  • 发明设计人 D.W.塞斯科;

    申请日2018-03-29

  • 分类号

  • 代理机构北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人葛青

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2022-08-23 11:02:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-16

    授权

    授权

  • 2018-11-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/00 申请日:20180329

    实质审查的生效

  • 2018-10-23

    公开

    公开

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