借助振动体传感器确定蒸气浓度的设备和方法

摘要

本发明涉及一种设备和方法，用于确定体积空间(2)内的蒸气的浓度或分压、尤其确定或调控由运载气输送经过体积空间(2)的蒸气的质量流量，其中，体积空间(2)借助加热器(8)能被加热到蒸气的冷凝温度之上，具有传感器(1)，提供取决于蒸气浓度或蒸气分压的传感器信号。为了在这种设备或方法、尤其用于沉积OLED层的方法中提供用于确定蒸气浓度的传感器，其传感器信号不受运载气影响或至少略受运载气影响，在此规定，传感器(1)具有置于振荡中的振动体，其振荡频率受到在振动体的表面上由冷凝的蒸气形成的物质累积的影响，其中，振动体具有温度控制装置，借此能够使振动体处在蒸气的冷凝温度之下的温度，其中，分析装置根据振荡频率的随时间的变化得出浓度或分压。