近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统及其方法

摘要

本发明公开了一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统及其方法。它依次具有激光器、双凹透镜、由负透镜、正透镜组成的双分离准直镜。在标定中，利用特定的测量方法来验证本装置所具有的误差，通过实施测量例中严格的数据处理，可以论证本装置波前畸变量远小于1/15波长的均方根值，完全可以作为一个近红外波段的近似理想准直扩束器用于标定脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差。本发明可以对10-150mm口径的近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪进行系统误差的标定，该方法适用于其它可见光、中、远红外波段的干涉仪的系统误差的标定，为各类干涉仪检测系统的检测可靠性提供了极为有效的标定装置及方法。