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EUV投射光刻的分面反射镜和包含该分面反射镜的照明光学单元

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EUV投射光刻的分面反射镜，具有多个反射EUV照明光的分面(25)。至少一些分面(25)制造为取向分面并且具有反射表面(32)，该反射表面的边缘轮廓(33)沿完整分面布置的两个取向坐标(x，y)取向。至少一个取向分面(25)的反射表面(32)具有的表面形状具有沿两个曲率轴线(x′，y′)的不同曲率，其中所述曲率轴线(x′，y′)以有限的轴线倾斜角(α，β)相对于完整分面布置的取向坐标(x，y)倾斜。实现分面反射镜的EUV性能增强，尤其是在配备所述分面反射镜的投射照明系统的长时间操作的情况下。

著录项

公开/公告号CN107636537B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-09

原文格式PDF
申请/专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司;
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申请/专利号CN201680026284.9
发明设计人 T.费希尔;S.文德利希;
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申请日2016-04-26
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址德国上科亨
入库时间 2022-08-23 11:01:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-09

授权

授权
2018-05-29

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20160426

实质审查的生效
2018-01-26

公开

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1. EUV投射光刻的分面反射镜和包含该分面反射镜的照明光学单元 [P] . 中国专利： CN107636537B . 2020.06.09
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