公开/公告号DE102012210174A1
专利类型
公开/公告日2013-06-06
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号DE201210210174
发明设计人 PATRA MICHAEL;BIELING STIG;DEGUENTHER MARKUS;ENDRES MARTIN;WANGLER JOHANNES;DINGER UDO;SINGER WOLFGANG;
申请日2012-06-18
分类号G02B5/09;G02B26/08;G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 16:21:44