将定制度量与全局分类法结合以在极端高处理量下监测加工工具状况的基于晶片及批次的层级式方法

摘要

本发明揭示用于监测加工工具状况的方法及系统。所述方法将单个晶片、单个批次内的多个晶片及多个批次信息一起统计地组合为到定制分类引擎的输入，所述定制分类引擎可消耗单个或多个扫描、通道、晶片及批次以确定加工工具状态。